Kiekkolavan lämmön kerääntymisen julma todellisuus
Nopealla-valotuksella laserit tuottavat voimakasta paikallista lämpöä kiekkoistukkaan. Jos käytät ruostumatonta terästä tai alumiinia, tämä lämpö aiheuttaa mikroskooppisen lämpölaajenemisen. 2 nm:n solmupisteessä jopa 1 nm:n siirtymä johtaa välittömiin peittovirheisiin ja pilaantuneisiin piikiekoihin.
Piikarbidin jäykkyyden fysiikan purkaminen
Piikarbidin kimmokerroin on poikkeuksellinen 330 GPa, mikä tekee siitä kolme kertaa jäykempi kuin valurauta. Tämän äärimmäisen jäykkyyden ansiosta voimme työstää kevyitä, onttoja-ilmalaakeriohjaimia. Nämä ohjaimet voivat liikkua suurilla nopeuksilla taipumatta tai taipumatta kiihdytyksessä.
Ei--magneettinen tyhjiövaatimus puolijohdetyökaluissa
Metalliosatmagnetisoituvat ajan myötä ja houkuttelevat mikroskooppisia ilmassa olevia hiukkasia, jotka tuhoavat kiekkojen tuoton. Edistyksellinen piikarbidikeramiikkamme ovat 100 % ei--magneettisia ja kemiallisesti inerttejä. Ne eivät tyhjene ultra-korkeassa tyhjiöympäristössä, mikä säilyttää koskemattoman,{5}}hiukkasvapaan käsittelykammion litografiatyökalujasi varten.
Puolijohteiden rakennemateriaalien vertailu
| Materiaalin omaisuus | Piikarbidi (SiC) | Alumiinioksidi (Al2O3 99,5 %) | Ruostumaton teräs (316L) |
| Elastinen moduuli (E) | 330 GPa | 370 GPa | 193 GPa |
| Lämpölaajeneminen (CTE) | 3.5 × 10⁻⁶/K | 8.0 × 10⁻⁶/K | 16.0 × 10⁻⁶/K |
| Lämmönjohtavuus | 150 W/(m·K) | 30 W/(m·K) | 16 W/(m·K) |
| Kovuus (Mohs) | 9.5 | 9.0 | 6.0 |
| Magneettinen läpäisevyys | 1 000 (ei--magneettinen) | 1 000 (ei--magneettinen) | 1,002 (hieman magneettinen) |
Tekniset usein kysytyt kysymykset puolijohdelaitteiden suunnittelijoille
Q1: Mitä raaka-aineen puhtautta käytät piikarbidikeramiikassasi?
A1: We use high-purity reaction-bonded or sintered Silicon Carbide (>99 %). Tämä varmistaa, että materiaali säilyttää tasaiset fysikaaliset ominaisuudet eikä johda metallisia epäpuhtauksia puhdastilaan.
Q2: Kuinka koneistat tarkkuusreiät 9,5 Mohsin kovuuden piikarbidissa?
A2: Käytämme moni-akselisia CNC-hiomakoneita, joissa on timantti-kärkityökalut. Koska piikarbidi on uskomattoman kovaa, käytämme koneistusprosessia jatkuvassa nestemäisessä jäähdytysnesteessä lämpöhalkeilun estämiseksi ja mikro{4}}toleranssien säilyttämiseksi.
Q3: Miksi minun pitäisi valita piikarbidi alumiinioksidin (Al2O3) sijaan?
A3: Vaikka alumiinioksidi on jäykkää, piikarbidin lämmönjohtavuus on viisinkertainen (150 W/m•K). Tämän ansiosta piikarbidi voi haihduttaa lämpöä paljon nopeammin, mikä estää paikallisia kuumia kohtia, jotka aiheuttavat epätasaista lämpölaajenemista.
Q4: Minkä pinnan karheuden (Ra) keraamisilla istukkaillasi voi saavuttaa?
A4: Käyttämällä erikoistuneita timanttilappausyhdisteitä voimme kiillottaa aktiiviset pinnat pinnan karheuteen (Ra) alle 0,02 μm, mikä tarjoaa ultra-tasaisen rajapinnan kiekkojen kiinnittämiseen.
Q5: Voitko valmistaa mukautettuja kevyitä sisäisiä kylkiluita?
A5: Kyllä. Olemme erikoistuneet monimutkaisten, koverrettujen -sisäisten rakenteiden koneistukseen. Tämä vähentää komponentin massaa jopa 60 % säilyttäen samalla sen korkean rakenteellisen jäykkyyden, mikä mahdollistaa paljon nopeamman järjestelmän kiihtyvyyden.
K6: Miten nämä keramiikka reagoi nopeisiin lämpöiskuihin?
A6: Korkean lämmönjohtavuuden ja alhaisen lämpölaajenemisen ansiosta SiC kestää lämpöshokkia uskomattoman hyvin. Se ei mikro-murtu tai väänny nopeiden, korkean lämpötilan{3}}käsittelyjaksojen aikana.