Tarkkuusilma{0}}kelluvat alustat saavat aikaan kitkattoman liikkeen kosketuksettomien ilmakalvojen avulla, ja niitä käytetään laajalti huippu{1}}aloilla, kuten optisessa tarkastuksessa, puolijohdekiekkojen käsittelyssä, korkean-tarkkuuden litografiassa ja mikroni-mittojen kalibroinnissa. Ilmakelluvien järjestelmien kulkusuoruuden, tasaisuuden ja toistuvan paikannustarkkuuden pitkäaikainen vakaus-ei riipu pelkästään liikkuvista komponenteista, kuten ilmalaakereista ja käyttömoduuleista, vaan pohjimmiltaan alustan alustan fysikaalisista ominaisuuksista. Monet laitevalmistajat yrittävät rakentaa ilmassa{8}}kelluvia jalustoja valuraudasta, alumiiniseoksesta tai mineraalivaluista, mutta kohtaavat usein lämpömuodonmuutoksia, tärinäresonanssia ja pitkäaikaista-referenssia. Tästä syystä tiheä{11}}graniitista on tullut suosituin substraatti korkealaatuisille-tarkkuusilma{13}}kelluville alustoille.
Ultra-tarkkuus ilma-kelluvissa liikejärjestelmissä substraatti on paljon enemmän kuin pelkkä kuormitusta-kantava rakenne. se toimii ydinvertailuna mikroni- ja nanometrin-tarkkuuden ylläpitämisessä. Mikroni{5}}tasaisilla tasaisilla ilmakalvoilla toimivat ilma-kelluvat alustat asettavat erittäin tiukat vaatimukset alustan muodonmuutosten hallintaan, tärinänkestävyyteen ja rakenteelliseen stabiilisuuteen. Pienet materiaalin muodonmuutokset, mikro-värähtely tai vertailupoikkeama rikkovat suoraan ilmakalvon tasapainon aiheuttaen paikannusvirheitä, toimintahäiriöitä ja epäonnistuneen toistotarkkuuden. Metalliset ja tavalliset kivialustat eivät pysty täyttämään korkealaatuisten ilmakelluvien laitteiden tiukkoja käyttöolosuhteita. Sitä vastoin erikoisvalittu ja käsitelty korkeatiheyksinen graniitti vastaa täydellisesti ultra-tarkkuuden vaatimuksiin, ja siitä on tullut olennainen ydinmateriaali huippuluokan teollisuuslaitteissa.
Jatkuvan käytön aikana moottoreiden tuottama lämpö sekä ympäristön lämpötilan ja kosteuden vaihtelut siirtyvät alustalle. Alumiiniseoksella ja valuraudalla on korkeat lämpölaajenemiskertoimet ja ne muotoutuvat hienovaraisesti pienissä lämpötilan muutoksissa, mikä häiritsee ilmakalvon tasaisuutta ja johtaa liikkeen tärinään ja paikannustarkkuuden heikkenemiseen. Itse -kehittämämme UNPARALLELED® korkeatiheyksinen-musta graniitillamme on kompakti ja yhtenäinen sisäinen kiderakenne, jolla on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin, mikä minimoi lämmön-idusoidun muodonmuutoksen. Sen erinomainen sisäinen vaimennuskyky vaimentaa nopeasti laitteiden toiminnasta ja ulkoisista ympäristöistä aiheutuvaa tärinää välttäen tehokkaasti resonanssihäiriöitä.
Jotkut toimittajat käyttävät tavallista marmoria ilma{0}}kelluvien alustojen raaka-aineena. Tavallinen marmori, jolla on löysä rakenne ja luonnollisia halkeamia, vapauttaa asteittain sisäisen jännityksen pitkäaikaisen-paineen ja syklisen kuormituksen alaisena, mikä heikentää alustan tasaisuutta ja epätasapainoisia ilma{3}}kelluvia rakoja ajan myötä. Kaikille ilma{5}}kelluville alustoillemme omaksutuille graniittimateriaaleille tehdään pitkäaikainen luonnollinen ja keinotekoinen vanhenemiskäsittely, jotta sisäinen jännitys vapautuu täysin. Vakaa tiheys ja muodonmuutoskestävyys materiaali säilyttää pysyvästi alustan alkuperäisen geometrisen tarkkuuden ja vähentää huomattavasti myöhempää kalibrointia ja huoltotiheyttä.
Ilma-kelluvan alustan käsittely vaatii pitkälle erikoistunutta ammattitaitoa, vaativaa erittäin-korkeaa tasaisuutta sekä hienojen ilmareikien, ilmansyöttöpiirien, asennuskierrereikien ja tiivistysurien tarkkaa työstöä. Pehmeä tavallinen kivi on altis reunojen halkeilulle ja halkeilulle porauksen ja urituksen aikana. Tiheä-graniitti tarjoaa tasapainoisen kovuuden, rakenteellisen jäykkyyden ja työstettävyyden, mikä mahdollistaa monimutkaisten ja epäsäännöllisten rakenteiden vakaan viimeistelyn. 200 000 ㎡ tuotantokannan ja luokan 10 000 vakio-lämpötilan, vakio{11}}kosteuden ja pölyttömän{12}}työpajan tukemana ammattimaisen tärinänvaimennusinfrastruktuurin avulla suoritamme integroidun suuren-mittakaavan ilma{15}}hiontavirheen ilman. Kaikki menetelmät noudattavat maailmanlaajuisia standardeja, mukaan lukien DIN, ASME ja GB, ja ne saavuttavat nanometrin{17}}tason tasaisuuden ja täyttävät korkealuokkaisten{18}}ilma{19}}kelluvien järjestelmien tiukat ilmaraon yhdenmukaisuusvaatimukset.
Tarkkuustarkastus on välttämätöntä ennen toimitusta. Kaikilla Saksasta, Sveitsistä ja Japanista tuoduilla{1}}tarkkuusmittauslaitteilla kaikilla kalibrointilaitteilla on voimassa olevat metrologisten laitosten myöntämät sertifikaatit, joissa on täysin jäljitettävissä olevat testitiedot. Jokaiselle valmiille graniittiselle ilma-kelluvalle alustalle suoritetaan kattava tasaisuus, suoruus ja yhdensuuntaisuus. Tuemme myös pitkäaikaista -stabiiliuden ikääntymistestejä vakiolämpötilaolosuhteissa arvioidaksemme tarkkuussuorituskykyä-pitkäaikaisessa käytössä.
Meillä on ISO 9001-, ISO 14001-, ISO 45001- ja CE-sertifikaatit sekä yli 20 EU:ssa, Yhdysvalloissa ja Kaakkois-Aasiassa rekisteröityä kansainvälistä tavaramerkkiä ja patenttia, ja meillä on pitkäaikainen -tekninen yhteistyö optisten tutkimuslaitosten, puolijohdeyritysten ja ulkomaisten huippuyliopistojen kanssa. Räätälöidyt graniittiset ilma{6}}kelluvat alustamme toimitetaan laajalti automaattisten tarkastuslaitteiden, kiekkojen käsittelyjärjestelmien ja laserkalibrointilaitteiden valmistajille, joita viedään Eurooppaan, Amerikkaan ja Kaakkois-Aasiaan. Tarjoamme ei--standardinmukaisia räätälöityjä ratkaisuja integroituihin ilma-kelluviin pöytiin, liikejalkimiin ja portaalipalkkeihin, mukaan lukien upotetut kierreholkit, uritus, poraus ja yksi-osainen ultra{11}}tarkkuusviimeistely asiakkaan 3D-piirustusten mukaan.